1101_矽晶圓半導體材料 SILICON WAFER SEMICONDUCTOR MATERIAL的摘要

1101_N582400 1101_矽晶圓半導體材料 SILICON WAFER SEMICONDUCTOR MATERIAL

課程大綱(Course Outline): 本課程旨在完整地教授有關矽晶圓材料的相關知識，以及它在半導體上的角色與應用。始從矽材料的各種特性(晶體結構、電性、機械性等)的介紹，再循序漸進的講解整個矽晶圓的關鍵製造技術，以及缺陷生成理論及控制。最後介紹矽晶圓在一些重要的IC元件上的應用。內容包括1. 緒論 2. 矽晶的性質 3. 多晶矽的製造技術 4. 單晶矽的生長技術 5. 矽晶圓缺陷 6. 矽晶圓加工成型 7. 矽晶圓性質之檢驗 8. 矽晶圓在IC元件上的應用

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教師(teacher): 林明獻
教師(teacher): 郭昌恕